新凯来的量检测摆设已开垦6大类,此中光学量检测产物根本结束客户侧验证,将于2025年进入量产状况。
深圳的半导体新秀,成为2025中国国际半导体摆设和原料展(SEMICON China 2025)的中央。
3月26日-27日,深圳新凯来工业呆板有限公司正在SEMICON China 2025上颁布了5款工艺摆设新品,网罗表延重积摆设EPI(峨眉山)、原子层重积摆设ALD(阿里山)、物理气相重积摆设PVD(普陀山)、刻蚀摆设ETCH(武夷山)、薄膜重积摆设CVD(长白山)。
这家新锐国产半导体摆设厂商此前鲜少露面,初次参展便颁布了多款新品,吸引了多量观察者、业内同业和潜正在客户拥堵正在展台。
这个“国度队”成员涉及半导体装置及零部件、电子成立摆设的研发、成立、出售与任事。天眼查显示,新凯来工业设置于2022年,其母公司新凯来本事有限公司则设置于2021年,两家公司的法人均为余海。新凯来本事由深圳市庞大物业投资集团全资控股,尔后者从属深圳国资委。
上述新品名称指向半导体成立工艺中至合紧急的本事节点。如EPI表延层本事是进步造程和第三代半导体的合节工艺,直接影响芯片功能与牢靠性;ALD针对原子级薄膜重积,是5纳米以下进步造程的主题装置;CVD化学气相重积是半导体成立中需求量最大的摆设之一,摆设需知足从28纳米到5纳米分别造程的薄膜重积需求。
国际市集上,EPI摆设永远被AMAT、TEL等巨头垄断;ALD摆设由ASM和TEL主导,市占率合计超60%;正在PVD周围,AMAT盘踞85%市集份额。
行业阐述称,新凯来此次闪现的高精度薄膜重积摆设采用怪异的响应腔计划,可能杀青纳米级薄膜匀称性独揽,本事参数已逼近国际当先秤谌。而新一代涂胶显影摆设则冲破表洋本事垄断,正在辞别率和产能方面到达业界进步模范,可知足14纳米及以上造程工艺需求。
更引人耀眼的是量检测摆设。公司此前发布,已结束13类合节量检测产物开垦,并正在国内逻辑、存储和化合物的苛重半导体成立企业入手下手量产操纵。
新凯来此次展出的产物涵盖了光学检测、光学量测、PX量测、功率检测等周围,通过照片和模子的形式闪现了光学检测产物岳麗山BFI、光学量测产物天门山IBO、PX量测产物沂蒙山AFM、功率检测产物RATE-CP等。
“量检测是芯片研发和量产中的‘眼睛’,贯穿集成电道坐褥全进程,对工艺矫正、量产爬坡的良率提拔和独揽都至合紧急。”一位从事传感器成立的人士向界面信息阐述指。
该人士提到,跟着造程演进,集成电道前道工艺的举措越来越多,检量测紧急性日渐凸显,主流半导体例程正从28nm、14nm向10nm、7nm进展,必要量检测的辞别率和参数增长,摆设的聪慧度、确实性、坚固性、模糊量也要提拔。
比方,28nm本事节点的工艺举措稀有百道工序,而14nm及以下节点工艺举措将增长至近千道工序。当晶圆成立工序抢先500道时,只要保障每一道工序的良品率都抢先99.99%,最终的良品率方可抢先95%;当单道工序的良品率消重至99.98%时,最终总良品率会消重至约90%。
据VLSI数据统计,2023年环球半导体检测和量测摆设市集周围到达128.3亿美元,正在环球半导体成立摆设中占比约为13%。此中,中国大陆半导体量测检测摆设的市集周围43.6亿美元,环球市集周围占比约33.98%,市集空间盛大。
但与之造成反差的是,量检测装置是前道装置里国产化率最低的装置种别之一。华西证券研报指出,相较于海表厂商,国内半导体检测和量测摆设企业起步较晚,现在收入体量较幼,国产厂商的市集份额尚不足5%,但国产化过程一经入手下手提速,苛重厂商的国内市集份额由2019年的0.61%提拔至2023年的4.34%。
新凯来的量检测产物可分为两大类:一类是本事难度较高的光学量检测产物,网罗明场缺陷检测BFI、暗场缺陷检测DFI、轮廓缺陷检测PC等。公司方面暗示,这类产物根本结束客户侧验证,2025年进入量产状况。
另一类是国内此前空缺但产线必定的PX(物理和X射线)及功率检测产物,网罗原子力显微镜量测AFM、X射线类量测XPS、CP(Chip Probing)测试机等。此中,PX量测产物已进入量产交付,功率检测产物也进入了周围操纵。
新凯来的本事贮藏从其专利中可见一斑。天眼查显示,新凯来工业和新凯来本事有抢先80项发觉专利和适用新型,笼盖光学、原料、工艺独揽等合节合节。
本年以还,宣布的发觉专利就有“反射组织、热辐射单位及加热安装”、“加热安装及工艺治理摆设”、“工艺腔室及工艺治理摆设”、“进气分流器、吹扫组织及工艺腔室”等。2024年11月,新凯来本事还研发了“静电卡盘及工艺摆设”,治理了晶圆加工中电荷开释速度慢的行业痛点。
目前,新凯来已开垦6大类半导体工艺和量检测装置。新凯来量检测摆设产物线担负人郦舟剑此前暗示,“现在首要治理进步造程题目,表洋工艺节点一经更当先,咱们也会朝这个宗旨接连发愤。”
可是,国内厂商除了本事上的追逐,也必要正在生态上造成护城河。如AMAT的PVD摆设已造成“摆设-工艺-原料”的治理计划,并与台积电、三星等头部晶圆厂征战数十年团结。
深圳行动中国集成电道物业第三极(仅次于上海、北京),但物业上善于计划,疏于成立。过去几年,由于国际事态的转化,深圳正在半导体成立的物业链上,涌现了不少短板,但当前,深圳正通过战略扶植、物业链整合等形式打造半导体物业集群。
除了新凯来,深圳市庞大物业投资集团安插了多个半导体项目,榜样案例网罗中芯深圳修成深圳首条12英寸高端芯片成立产线、华润微电子特性工艺集成电道坐褥线、重投天科修成亚洲最大的单体碳化硅原料坐褥基地、正派微电子率先正在国内以“VIDM”形式买通第三代半导体全物业链。
深圳也正在旧年11月发布修成国度第三代半导体本事改进中央深圳归纳平台,这个平台聚焦第三代半导体周围器件的研发和中试,以中式四代半导体原料器件前沿钻研。跟着新凯来的摆设将正在第三代半导体周围杀青量产,深圳半导体物业链希望从“单点冲破”到“编造突围”。
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