克日,海目星联袂福州大学凯旋研造出国内首款晶圆级Micro LED芯片非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL,有用办理Micro LED行业共性检测技艺题目,弥补了行业环节范围空缺,引颈我国高速高精半导体显示行业迈向高质料繁荣新阶段。
动作继OLED后新一代主流显示技艺,Micro LED依附高亮度、高比照度、长命命、低功耗、高分袂率等上风,被视为AR/VR、柔性穿着、手机屏等高端使用范围的终极办理计划。
然而,Micro LED资产化过程的焦点症结之一——Micro LED晶圆检测,目前已无法知足资产链高精、高效、无损的需求,检测办法亟需升级迭代。
现在,Micro LED晶圆检测技艺可分为三类:探针式电致发光检测(EL)、AOI表观缺陷检测、光致发光检测(PL)。
◆ 探针式电致发光检测(EL)检测切确度高,但成果极低,还会对芯片形成肯定水平的毁伤,险些不具备全检不妨性。
◆ AOI表观缺陷检测,只可对表观缺陷举行检测,无法对芯片表表以下的发光层、正极、负极等举行检测,可识别缺陷类型有限。
◆ 光致发光检测(PL)行使短波长饱舞LED的发光层发生发光图像,拥有非接触式、速率速等甜头。但只可对发光层缺陷举行检测,无法对芯片的正负电极举行驱动测试,检测切确率无法知足高良率的出产需求。
当下,针对Micro LED晶圆级出产工艺举行高效精准的全检已成为约束行业量产的技艺困难之一。
面临Micro LED巨量检测诸多行业痛点,2015年起头,福州大学吴朝兴老师团队发展LED非接触电致发光道理琢磨,随后提出Micro LED芯片的无接触电致发光检测计划,即正在表部检测电极与Micro LED芯片之间不接触的情状下竣工LED芯片的电致发光。正在该形式中,表部电极不是为LED注入载流子,而是用于变成笔直于LED大量子阱层的电场,从而 “隔空”点亮LED芯片。
这种检测方式既避免了古板检测方式正在检测历程中对Micro LED芯片形成的物理性损坏,又避免了光致发光检测形成的芯片良品率“虚高”的地步。除此除表,还能避免主动光学检测正在检测历程中将表表描述完整但无法发光的Micro LED芯片误判为寻常芯片的情状。
2024年,海目星联袂福州大学吴朝兴老师团队,发展繁复电磁境遇中的“呆板-电气-发光-收罗”性能模组的计划与整合,以及管造与光电收罗信号的同步,凯旋研造晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL,冲崩溃业化“最终一公里”。
基于该样机的研发收获,可对红、绿、蓝Micro LED表延片、晶圆(COW)以及迁徙到且则载板的芯片(COC)举行无接触电致发光检测。
样机高精度、高不变性、高成果的技艺特质,极大擢升了工艺良率秤谌,降形本钱,为我国Micro LED资产供给了本土化的办理计划,以高质料改进帮实践业跃进。
由图可见,晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测不受芯片处所影响,能够较好地隔空点亮芯片。
攻下巨量检测绝非简单技艺冲破,更是一场环绕半导体高端成立的生态级改进,也是海目星构修掩盖“光-机-电-算”的全栈技艺壁垒的环节一环。
Micro LED动作下一代显示的焦点技艺目标,其技艺更新和资产化繁荣将重构显示资产竞赛形式,深化中国技艺话语权。海目星身为新型显示资产链上的当先企业,依附卓着的能力和前瞻性的策略见地,接续正在环球赛道中抢占技艺高地,饱励资产转型升级。
2024年7月,海目星与福州大学合伙建树深圳海纳半导体配备有限公司,聚焦种种新型显示登第三代半导体检量测配置,为擢升行业良率供给高速高精的办理计划,为业内客户降本增效与界限化出产供给巨大技艺支持。
本年4月,海目星与闽都改进尝试室正式建树“半导体检量测配备研发中央”。闽都改进尝试室是首批四家福修省改进尝试室之一,正在光电音信范围的环节技艺攻合与资产转化范围有特殊上风。两边的协作将进一步深化产学研统一,赋能半导体显示资产改进繁荣。
海目星通过底层焦点技艺冲破,撬动显示革命与半导体升级的双重海潮,为环球科技资产注入中国改进动能。他日,海目星还将连续秉持改进心灵,饱励资产技艺横向拓展与纵向延迟,加快国产半导体显示高端配备自帮化过程。
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